凈化器/顆粒過濾器組合
◆提高設(shè)備性能和工藝經(jīng)濟(jì)性
◆從惰性氣體、氮、氫、酸性氣體、氧和氫化物等特殊氣體中去除雜質(zhì)
◆0.003μm燒結(jié)不銹鋼過濾介質(zhì)（9日志還原）
◆316L不銹鋼（<10RA）或316L var（< 5RA）電拋光潤濕表面處理
◆可選HASTELLY C-22過濾介質(zhì)/外殼或鎳過濾介質(zhì)
應(yīng)用場(chǎng)合：
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
高純度焊接
氣體分析儀器
分析工業(yè)
研究與開發(fā)
氣瓶灌裝廠
不純物去除
H2O, O2, CO2, CO (N2) 3
Ar，Ar/CH4
He，CH4
Ne，CF4
Kr，CCL4
Xe，SF6
N2，Freons
H2，As/H3
Ar/H2，PH3
N2/H2，NH3
SiH4，B2H6
Si2H6，H2Se
D.C.S.，GeH4
HBr
HCl
BCL3
BF3
CL2
HF
O2
Air
N20
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